MFC流量控制器由傳感器，接入器，主機，監(jiān)控設備，人機界面和節(jié)流閥(或者節(jié)流閥組)組成。傳感器收集流量等信息，通過接入器接入到主機，這個主機由可能是單片機，也可能是PC機，甚至可能是更高級的計算機。
MFC流量控制器是一個多孔板組合的聯(lián)動裝置，是目前國產較為可靠的解決動態(tài)水力平衡的元件。它由一個流量設定調節(jié)閥，即手動的可調孔板(相當于一個靜態(tài)平衡元件)和二個閥瓣及彈簧、膜片組成的動態(tài)調節(jié)裝置。即自動的可調孔板(相當于一個動態(tài)平衡元件)組成。
MFC流量控制器帶有結實本體，兩個連接法蘭，帶磁鐵和帶刻度的不同流程范圍的調節(jié)插板，密封條，帶電磁觸點的指針，電路系統(tǒng)連接器。液體或氣體從固定在直立方向的設備底部向上流動,從而推動可變顯示部分的調節(jié)插板的位置，并且可以通過觀察管道上有可視刻度線的部分，紅色刻度表示流速在某一個值上。通過這種方式可以讀取循環(huán)中的瞬時流量。
浸入流體內部的指示調節(jié)閥門，在沒有機械摩擦力的情況下可以自由移動，在內部所襯磁鐵產生的磁場作用下，電子報警觸點就會接觸。依靠開關上有基準指示的可移動指針，觸點的斷開與接觸由所檢測液體的流速來決定，并顯示在內部標簽上。
MFC流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
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