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MFC流量控制器A

簡(jiǎn)要描述:HORIBA STEC專注于質(zhì)量流量控制器的研究開發(fā),服務(wù)于近乎藝術(shù)級(jí)的半導(dǎo)體制程,并持續(xù)不斷地制造各類產(chǎn)品,滿足用戶的各種需求。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2021-03-15
  • 訪  問(wèn)  量:3712

詳細(xì)介紹

HORIBA質(zhì)量流量控制器 HORIBA STEC專注于質(zhì)量流量控制器的研究開發(fā),服務(wù)于近乎藝術(shù)級(jí)的半導(dǎo)體制程,并持續(xù)不斷地制造各類產(chǎn)品,滿足用戶的各種需求。

多種配置選擇,通信模式可選擇數(shù)字/模擬,DeviceNet, CC-Link,PROFIBUS.

兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規(guī)格供選擇:124 mm-106mm- W系列)

氣體流量控制范圍擴(kuò)大到從10 SCCM200 SLMSEC-N100系列適用于各種需要?dú)怏w控制方面的應(yīng)用。

特點(diǎn):

高精度  高設(shè)定信號(hào)點(diǎn)精度

MFC的線性由多條近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償。這樣能確保在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為了改進(jìn)針對(duì)實(shí)際氣體的精度,HORIBA STEC使用標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)試各種制程中使用的氣體并取得測(cè)試數(shù)據(jù)。

精度:±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.

全流量范圍的高速相應(yīng)  

新的可變PID算法:1秒高速響應(yīng)。SEC-N100具有新研發(fā)的“可變PID系統(tǒng)",能在1秒內(nèi)對(duì)任何信號(hào)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行響應(yīng)??勺?PID根據(jù)設(shè)定流量點(diǎn)位不斷修正計(jì)算,這樣當(dāng)用戶改變滿量程和氣體種類時(shí)PID參數(shù)能得到優(yōu)化。

多氣體,多量程的解決方案

附加的軟件可以讓用戶很容易地改變使用規(guī)格

新的多氣體,多量程系統(tǒng)使在用戶端自由改變氣體種類和使用量程范圍成為可能。

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